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真空環境在線視覺檢測系統

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 真空環境在線視覺檢測系統
     該系統屬于小幅面高精度檢測設備范疇,主要依托公司的技術能力、系統集成能力和項目管理能力,針對高真空度測量環境提供在線自動檢測專業化成套解決方案,產品基于自主研發,以系統集成為主。

 

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系統成功克服了機械傳動結構的真空適應性問題和光學元器件真空中的散熱問題,并成功具備了真空環境的光學性能改造能力和電磁兼容性改造能力,可在10-1Pa ~10-5Pa真空條件下實現產品尺寸、空間位置、形變和缺陷特征等無人在線檢測,測量精度可達到微米級別,可避免試驗過程中人工離線測量而帶來的需要打開艙門而重復抽放真空的問題,減少了時間、人力和物力的消耗,提高了測量的精度和效率,合理延長了設備的使用壽命。 
   

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